渦輪分子泵組MLT-PT90系列是米立特公司新型的組合式分子泵,能產(chǎn)生5×10-8mbar以上的真空度,同時(shí)具有使用簡單可靠的特點(diǎn),被各地的用戶廣泛使用。它的主要特點(diǎn)如下:
? 前泵與分子泵合為一體,不需要再另接前泵。
? 前泵采用干式運(yùn)行的隔膜泵,使整套設(shè)備免維護(hù),干式運(yùn)行,體積小,重量輕。
? 自動測量前泵產(chǎn)生的真空壓力并自動啟動分子泵,不需要附加裝置和人為控制,前泵與分子泵的配合完全自動化。
? 配有給容器充氣的充氣開關(guān)。
? 當(dāng)達(dá)到一定的真空壓力后,可選擇自動關(guān)閉前泵,以節(jié)省電源,增加設(shè)備的使用壽命。
? 采用自動空氣冷卻。
? 結(jié)構(gòu)特別緊湊,性能可靠。
? 操作特別簡單,只用一個(gè)總開關(guān)便可開關(guān)渦輪分子泵組。
技術(shù)參數(shù):
De |
MLT-PT90i/DIVAC 3.0 | MLT-PT90i/Ecodry 25 plus |
Turbomolecular pump | TURBOVAC 90i | TURBOVAC 90i |
Fore vacuum pump(Dry) | DIVAC3.0 | Ecodry 25 plus |
High vacuum connection | DN 63 ISO-K/CF | DN 63 ISO-K/CF |
Turbopump Operating speed | 7200rpm | 7200rpm |
Pumping speed for N2/H2 | 90I/s / 78I/s | 90I/s / 78I/s |
UItimate pressure | 63 ISO-K:<8×10-8mbar 63CF:<5×10-10mbar | 63 ISO-K:<8×10-8mbar 63CF:<5×10-10mbar |
Fore pumping speed | 3.0 m3/h | 25 m3/h |
Mains supply | 230±10% V | 230±10% V |
Number of gauges,max. | 2 |
2 |