面銅探針組件：SRP-4探針，臺(tái)式測(cè)厚儀CMI760/CMI563專用，也就是SRP-4探頭前端的水晶頭。

英國(guó)Oxford牛津SRP-4面銅探頭（CMI700/CMI600/CMI563/專用）

 SRP-4面銅探頭測(cè)試技術(shù)參數(shù)

專用于Oxford牛津CMI760(CMI700)座臺(tái)式孔面銅測(cè)厚儀

 l 準(zhǔn)確度：5%，參考標(biāo)準(zhǔn)片

l 精確度：化學(xué)銅：標(biāo)準(zhǔn)差0.2 %，電鍍銅：標(biāo)準(zhǔn)差0.3 %

l 分辨率：0.1μm≥10μm，0.01μm<10μm，0.001μm<1μm，0.01mils≥1 mil，0.001mils<1mil

l 厚度測(cè)量范圍：化學(xué)銅：0.25μm–12.7μm（10μin–500μin）

電鍍銅：2.5μm–254μm（0.1mil–10mil）

l 線性銅線寬范圍：203μm–7620μm（8mil–300mil

l 工作特點(diǎn)：應(yīng)用先進(jìn)的微電阻測(cè)試技術(shù)。系繩式探頭由四支探針組成，AB為正極CD為負(fù)極；測(cè)量時(shí)，電流由正極到負(fù)極會(huì)有微小的電阻，通過電阻值和厚度值的函數(shù)關(guān)系準(zhǔn)確可靠得出表面銅厚，不受絕緣板層和線路板背面銅層影響。耗損的SRP-4探針可自行更換，為牛津儀器專利產(chǎn)品。探頭的照明功能和保護(hù)罩方便測(cè)量時(shí)準(zhǔn)確定位。