流量大,15-300SLPM
? 受腐蝕的部位采用哈氏合金,適用于惰性氣體及腐蝕性強的氣體
? 過濾等級為0.0025μm,即使在高流速的情況下,也不會引起出口端壓力的下降
? 內(nèi)部拋光等級為5Ra,防止其內(nèi)部污染
? 通過高溫氮氣及去離子水清潔,滿足半導體行業(yè)的標準 cess
? 清潔及包裝在100級潔凈室內(nèi)
TKSCT過濾器
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TKSCT過濾器
產(chǎn)品屬性
產(chǎn)品優(yōu)勢 韓國TKSCT過濾器
詳細信息 流量大,15-300SLPM
? 受腐蝕的部位采用哈氏合金,適用于惰性氣體及腐蝕性強的氣體 ? 過濾等級為0.0025μm,即使在高流速的情況下,也不會引起出口端壓力的下降 ? 內(nèi)部拋光等級為5Ra,防止其內(nèi)部污染 ? 通過高溫氮氣及去離子水清潔,滿足半導體行業(yè)的標準 cess ? 清潔及包裝在100級潔凈室內(nèi) 相關(guān)產(chǎn)品 共0條 相關(guān)評論
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